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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
重慶直供HUGLE藤宮FOUP/FOSB清潔系統(tǒng)西南區(qū)客戶(hù)共享資源
重慶內(nèi)藤機(jī)械設(shè)備有限公司
重慶直供HUGLE藤宮FOUP/FOSB清潔系統(tǒng)西南區(qū)客戶(hù)共享資源
詳情介紹：
FOUP / FOSB清潔系統(tǒng)HNM-300
通過(guò)對(duì)FOUP和FOSB進(jìn)行必要的清潔來(lái)維持和提高半導(dǎo)體制造的高生產(chǎn)率這一概念至關(guān)重要。HNM-300可用各種FOUP / FOSB一個(gè)洗滌/干燥。
沒(méi)有必要更改任何工藝套件或通過(guò)Huggle的原始腔室結(jié)構(gòu)更改設(shè)置。
產(chǎn)品概述
和高吞吐量（我們之前的模型）
，教育部足跡
-neutralization /除塵措施
噴嘴噴射**清洗保潔
在短時(shí)間內(nèi)通過(guò)熱風(fēng)刀干燥完全干燥
，喝水死的預(yù)防功能
，可以添加自動(dòng)FOUP Opner機(jī)制（選項(xiàng)）
規(guī)范
裝置主體：2300（W）×1400（D）×2200（H）mm（不包括投影）
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