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它是用于EUV暴露的EUV POD的全自動(dòng)清潔裝置，這是新的曝光技術(shù)。除了拆卸/重新組裝內(nèi)部POD和外部POD之外，每個(gè)POD都使用單獨(dú)的專用CH進(jìn)行清潔/干燥。
完全無(wú)人值守的操作也是可能的。
采用獨(dú)特的清潔/干燥技術(shù)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)顆粒去除30年，作為半導(dǎo)體設(shè)備容器清潔設(shè)備制造商。

產(chǎn)品概述

-足跡設(shè)計(jì)
，專有清洗技術(shù)通過(guò)超精密清洗
和高效的干燥系統(tǒng)完全干燥實(shí)現(xiàn)通過(guò)
，全自動(dòng)POD開(kāi)放的交叉污染預(yù)防由
-RSP200兼容
機(jī)器人手自清潔系統(tǒng)內(nèi)置
-獨(dú)立專用室**

規(guī)范

裝置主體：1230（寬）×2900（深）×2300（高）毫米（不包括突起）

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產(chǎn)品名稱：重慶直供HUGLE藤宮全自動(dòng)EUV POD清潔系統(tǒng)成都及西南區(qū)客戶共享資源

全自動(dòng)EUV POD清潔系統(tǒng)REN

產(chǎn)品概述

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